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发明名称 METHOD OF CLEANING FLUORORUBBER MOLDED PRODUCT FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION DEVICE AND CLEANED MOLDED PRODUCT
摘要
申请公布号 EP1106268(A4) 申请公布日期 2005.03.16
申请号 EP19990909337 申请日期 1999.03.24
申请人 DAIKIN INDUSTRIES, LIMITED 发明人 HIGASHINO, KATSUHIKO;NOGUCHI, TSUYOSHI;KISHINE, MITSURU;HASEGAWA, MASANORI
分类号 B08B3/04;(IPC1-7):B08B3/04;H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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