微型液体甲醇燃料电池的制造方法

摘要

本发明是一种微型液体甲醇燃料电池的制造方法。本发明用微机械加工(MEMS)工艺加工双极板，在外力约束的条件下将双极板封压在膜电极上，电池的四周使用树脂胶密封。双极板的制作采用氧化、光刻和硅腐蚀技术来完成，双极板上的流场及进、出液体导流通道为平面布局。最后使用玻璃和加工好的双极板键合，并真空淀积金属层，即完成双极板加工。本发明的方法可以有效的完成流场的结构和电流收集，并可有效缩小燃料电池的体积和便于批量加工。

主权项

1、一种微型液体甲醇燃料电池的制造方法，其特征是：以硅片为原料制作双极板，硅片<100>先分别用甲苯、丙酮和乙醇进行超声清洗，清洗后的硅片置于氧化炉中，控制氧化炉温度在1180℃，在水浴温度为95～97℃，氧气流量为1l/min的条件下通入氧气进行氧化，生成厚度为0.8-1.1微米的二氧化硅层，采用光刻方法刻出氧化层图形，再用HF酸刻蚀二氧化硅，打开腐蚀硅体的窗口，用KOH溶液腐蚀硅体，在硅的正面加工出流腔、背面加工出液体导流沟道，再使用电化学腐蚀的方法在硅片上加工出垂直于电池流场的进、出液孔，重新清洗硅片后在硅片的背面上键合玻璃密封层，重新生长二氧化硅，然后真空蒸镀金属层；将膜电极置于两极板之间，在机械力约束下，将膜电极与两极板结合，使用树脂胶封装成电池。