ZnO陶瓷薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法，包括：采用传统的溶胶－凝胶法制备ZnO溶胶，取上述60～80％的溶胶烘干后，升温至550℃～650℃，使有机物分解，得到ZnO晶体，再碾磨制备成ZnO纳米粉体，其粒径在30nm～70nm；在上述ZnO粉体中加入分散剂，经混合后，加入到剩余的溶胶中；在载体上采用通常的方法制备所需厚度的薄膜，薄膜的退火温度为500℃～850℃。通过该方法可制备从2000nm～5000nm的薄膜，该薄膜无裂纹、致密型好、晶粒分布较均匀。

主权项

1.一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法，其特征在于：包括(1)采用溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶；(2)取上述60～80％的溶胶，升温至550℃～650℃，使有机物分解，得到ZnO晶体，再碾磨制备成ZnO纳米粉体，其粒径在30nm～70nm；(3)在上述ZnO粉体中，加入分散剂，经混合后，加入到剩余的溶胶中；(4)在载体上制备薄膜，薄膜的退火温度为500℃～850℃。