等离子聚合装置中的供气和排气系统

摘要

本发明提供了一种等离子聚合装置，其包括至少一个室，在该室中要涂布的片可以连续移动；至少一个向该室供应反应性气体的气体入口；和至少一个将反应性气体排出该室的气体出口，其中气体入口和气体出口以这样的方式设置在室上，即反应性气体的流动方向基本上与板的移动方向平行。

主权项

1.一种用于等离子聚合装置的供气和排气系统，在所述聚合装置中基材连续移动，该系统包括：气体入口，用于向聚合室供应气体，和气体出口，用于排出经气体入口供应的反应性气体，其中气体入口和气体出口以这样的一种方式设置，即，使反应性气体的流动与基材的移动方向平行，以及聚合室包括许多室，且至少一个室设置在垂直于聚合室中基材流动的方向上。