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发明名称
FABRICATION OF A REFLECTIVE SPATIAL LIGHT MODULATOR
摘要
申请公布号
EP1513764(A1)
申请公布日期
2005.03.16
申请号
EP20030734331
申请日期
2003.05.30
申请人
发明人
分类号
B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00;G02B26/08;(IPC1-7):B81B7/04;B81B5/00;H01P3/08
主分类号
B81B3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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