发明名称 FABRICATION OF A REFLECTIVE SPATIAL LIGHT MODULATOR
摘要
申请公布号 EP1513764(A1) 申请公布日期 2005.03.16
申请号 EP20030734331 申请日期 2003.05.30
申请人 发明人
分类号 B81B3/00;B81C1/00;B81C3/00;G02B26/08;(IPC1-7):B81B7/04;B81B5/00;H01P3/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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