PFC处理方法及其处理装置

摘要

本发明涉及不损伤真空泵，整备、检查容易而且不需要燃烧处理的PFC的处理方法以及处理装置。在真空室12的后段介有配管14，连续设置真空泵16和反应器导入部17和等离子体处理部18和聚合物回收部20，构成处理装置10。

主权项

1.一种全氟化碳的处理装置，包括：全氟化碳供给部；用于进行化学气相沉积法的真空室，所述真空室连接至全氟化碳供给部；真空泵，所述真空泵连接至真空室；等离子体处理部，所述等离子体处理部通过供给醇的供给部连接至真空泵，等离子体部通过照射包括全氟化碳和醇的混合气体产生聚合物；收集所述聚合物的气旋捕集器，所述气旋捕集器连接至所述等离子体处理部；以及其中所述气旋捕集器具有第一底部和在第一底部之下的第二底部，所述第一底部和第二底部具有打开和关闭操作的功能。