发明名称 WAFER SAWING METHOD
摘要
申请公布号 KR100478678(B1) 申请公布日期 2005.03.15
申请号 KR19970039916 申请日期 1997.08.21
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, MYEONG GI;HONG, IN PYO;KIM, YONG;HAN, CHANG HUN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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