发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFATURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100476127(B1) 申请公布日期 2005.03.15
申请号 KR20010041526 申请日期 2001.07.11
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;H01L21/31;C23C16/30;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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