发明名称 可避免量测计燃烧之量测计固定装置
摘要 本案系关于一种量测计固定装置,用以固定一量测计至一外壳体上,且该外壳体系覆盖于一反应室,而该量测计固定装置包括:一固定板,其系固定于该外壳体上;一固定座,其系可移动地设置于该固定板上,用以固定该量测计,使该量测计之一端得以设置于该外壳体与该反应室之间;以及一第一弹性元件,其系设置于该外壳体与该固定座之间,用以抵顶该固定座,藉以避免该量测计向该反应室方向移动。
申请公布号 TWM259315 申请公布日期 2005.03.11
申请号 TW093208130 申请日期 2002.09.02
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 SEMICONDUCTORMANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANG HAI) CORP. 中国 发明人 沈成刚
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 徐贵新 台北市大安区敦化南路2段98号22楼之1
主权项 1.一种量测计固定装置,用以固定一量测计至一外壳体上,且该外壳体系覆盖于一反应室,而该量测计固定装置包括:一固定板,其系固定于该外壳体上;一固定座,其系可移动地设置于该固定板上,用以固定该量测计,使该量测计之一端得以设置于该外壳体与该反应室之间;以及一第一弹性元件,其系设置于该外壳体与该固定座之间,用以抵顶该固定座,藉以避免该量测计向该反应室方向移动。2.如申请专利范围第1项所述之量测计固定装置,其中该量测计系为一温度计。3.如申请专利范围第1项所述之量测计固定装置,其中该量测计系为一压力计。4.如申请专利范围第1项所述之量测计固定装置,其中该第一弹性元件系为弹簧。5.如申请专利范围第1项所述之量测计固定装置,其中该第一弹性元件之一端系固定于该外壳体,另一端则抵顶该固定座。6.如申请专利范围第1项所述之量测计固定装置,其中该量测计固定装置更包括一第二弹性元件,其系设置于该外壳体与该固定座之间,用以提供一回复力予该固定座,藉以避免该量测计向该反应室方向移动。7.如申请专利范围第6项所述之量测计固定装置,其中该第二弹性元件之长度系短于该第一弹性元件之长度。8.如申请专利范围第6项所述之量测计固定装置,其中该第二弹性元件之刚性系硬于该第一弹性元件之刚性。9.如申请专利范围第6项所述之量测计固定装置,其中该第二弹性元件之一端系固定于该外壳体,另一端则当该固定座向该反应室方向移动而接触该另一端时,用以抵顶该固定座。10.如申请专利范围第6项所述之量测计固定装置,其中该第二弹性元件系为弹簧。11.如申请专利范围第1项所述之量测计固定装置,其中该固定板具有一沟槽。12.如申请专利范围第11项所述之量测计固定装置,其中该量测计固定装置更具有一锁固元件,其系穿过该固定板之该沟槽而与该固定座相锁固,用以使固定座内之该量测计固定于一特定位置。13.一种量测计结构,应用于一覆盖有外壳体之反应室,该量测计结构包括:一固定板,其系固定于该外壳体上;一固定座,具有一容置空间且可移动地设置于该固定板上;一量测计,其一端系容置于该固定座之该容置空间内,另一端则置于该外壳体与该反应室之间,用以量测该反应室之一物理参数;以及一第一弹性元件,其系设置于该外壳体与该固定座之间,用以抵顶该固定座,藉以避免该量测计向该反应室方向移动。14.如申请专利范围第13项所述之量测计结构,其中该量测计结构更包括一第二弹性元件,其系设置于该外壳体与该固定座之间,用以提供一回复力予该固定座,藉以避免该量测计向该反应室方向移动。15.如申请专利范围第14项所述之量测计结构,其中该第二弹性元件之长度系短于该第一弹性元件之长度。16.如申请专利范围第14项所述之量测计结构,其中该第二弹性元件之刚性系硬于该第一弹性元件之刚性。17.如申请专利范围第14项所述之量测计结构,其中该第二弹性元件之一端系固定于该外壳体,另一端则当该固定座向该反应室方向移动而接触该另一端时,用以抵顶该固定座。18.一种避免量测计燃烧之反应室结构,其包括:一反应室;一外壳体,其系覆盖于该反应室外;一固定板,其系连接于该外壳体;一固定座,具有一容置空间且可移动地设置于该固定板上;一量测计,其一端系容置于该固定座之该容置空间内,另一端则置于该外壳体与该反应室之间,用以量测该反应室之一物理参数;以及一第一弹性元件,其系设置于该外壳体与该固定座之间,用以抵顶该固定座,藉以避免该量测计向该反应室方向移动而燃烧。19.如申请专利范围第18项所述之避免量测计燃烧之反应室结构,其中该固定板系一体成型于该外壳体。20.如申请专利范围第18项所述之避免量测计燃烧之反应室结构,其中该固定板系藉由一连接装置而固定于该外壳体。21.如申请专利范围第18项所述之避免量测计燃烧之反应室结构,其中该避免量测计燃烧之反应室结构更包括一第二弹性元件,其系设置于该外壳体与该固定座之间,用以提供一回复力予该固定座,藉以避免该量测计向该反应室方向移动。22.如申请专利范围第21项所述之避免量测计燃烧之反应室结构,其中该第二弹性元件之长度系短于该第一弹性元件之长度。23.如申请专利范围第21项所述之避免量测计燃烧之反应室结构,其中该第二弹性元件之刚性系硬于该第一弹性元件之刚性。24.如申请专利范围第21项所述之避免量测计燃烧之反应室结构,其中该第二弹性元件之一端系固定于该外壳体,另一端则当该固定座向该反应室方向移动而接触该另一端时,用以抵顶该固定座。图式简单说明:第一图系为一传统温度计固定装置之结构示意图;第二图系为第一图所示之固定板顶视图;第三图系说明一外力施加于第一图所示之温度计固定装置之结构示意图;第四图系本案较佳实施例之温度计固定装置结构示意图。
地址 中国