| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'AU MOINS UNE CAVITE DANS UN MATERIAU |
| 摘要 |
<P>La présente invention concerne un procédé de fabrication d'au moins une cavité dans un matériau (1) présentant une structure cristallographique hexagonale ou cubique, notamment un carbure et/ou un matériau comportant du silicium, comportant les étapes suivantes :- former dans le matériau (1) au moins une amorce (2) de gravure en au moins un site prédéterminé (3),- graver la cavité à partir de l'amorce (2) formée précédemment en exposant le matériau à un environnement réducteur.</P> |
| 申请公布号 |
FR2859488(A1) |
申请公布日期 |
2005.03.11 |
| 申请号 |
FR20030010645 |
申请日期 |
2003.09.10 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS |
发明人 |
HANBUCKEN MARGRIT;WULFHEKEL WULF;SANDER DIRK |
| 分类号 |
B81C1/00;B82B3/00;C30B33/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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