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发明名称 Semiconductor Wafer Boat
摘要
申请公布号 KR200377160(Y1) 申请公布日期 2005.03.11
申请号 KR20040035263U 申请日期 2004.12.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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