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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Nassreinigung oder zum Ätzen eines flachen Substrats
摘要
申请公布号 DE69732392(D1) 申请公布日期 2005.03.10
申请号 DE1997632392 申请日期 1997.06.23
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELECTRONICA CENTRUM VZW, LEUVEN-HEVERLEE 发明人 MEURIS, MARC;MERTENS, PAUL;HEYNS, MARC
分类号 B08B1/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B08B1/00
代理机构 代理人
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