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发明名称
A method for forming a semiconductor device
摘要
申请公布号
KR100474554(B1)
申请公布日期
2005.03.10
申请号
KR20020087094
申请日期
2002.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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