Thin Film Deposition Method,申请号KR20020036096-传众专利搜索

发明名称	Thin Film Deposition Method
摘要
申请公布号	KR100472777(B1)	申请公布日期	2005.03.10
申请号	KR20020036096	申请日期	2002.06.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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