| 发明名称 |
Magnetfeldgenerator für Magnetronplasma |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69629885(T2) |
申请公布日期 |
2005.03.10 |
| 申请号 |
DE19966029885T |
申请日期 |
1996.07.01 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
MIYATA, KOJI |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/34;H01H1/46 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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