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发明名称
Hochauflösendes lichtstarkes Objektiv
摘要
申请公布号
DE59712190(D1)
申请公布日期
2005.03.10
申请号
DE19975012190
申请日期
1997.04.12
申请人
CARL ZEISS SMT AG
发明人
FUERTER, GERD
分类号
G02B6/38;G02B17/08;G03F7/20;(IPC1-7):G02B6/38
主分类号
G02B6/38
代理机构
代理人
主权项
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