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发明名称 SLURRY COMPOSITION AND METHOD OF CHEMICAL MECHANICAL POLISHING USING SAME
摘要
申请公布号 KR100475690(B1) 申请公布日期 2005.03.10
申请号 KR20017015180 申请日期 2001.11.27
申请人 发明人
分类号 C09G1/02;(IPC1-7):C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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