DEVICE FOR COATING THE INSIDE OF HOLLOW BODIES

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Innenbeschichten von Hohlkörpern, umfassend eine Verdampfungseinheit (1) zum Erzeugen eines Reaktionsgases sowie eine Beschichtungseinheit (3), in der ein zu beschichtender Hohlkörper angeordnet ist, wobei die Verdampfungseinheit (1) über eine Einlasseinrichtung (2) an die Beschichtungseinheit zum Einleiten des Reaktionsgases in den Querschnitt des Hohlkörpers (4) angeschlossen ist und der Hohlkörper auf eine geeignete Temperatur zur Dampfphasenabscheidung erwärmt ist, wobei zum Erwärmen des Hohlkörpers (4) eine Heizeinrichtung (7) vorgesehen ist, die den zu beschichtenden Hohlkörper (4) sowie einen diesen umgebenden elektrischen Isolator (3; 3') umgibt, wobei zwischen elektrischem Isolator (3; 3') und Hohlkörper (4) ein thermisch leitfähiges Medium (12) angeordnet ist.