发明名称 |
VORRICHTUNG ZUR VAKUUMBEDAMPFUNG |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60202870(D1) |
申请公布日期 |
2005.03.10 |
申请号 |
DE20026002870 |
申请日期 |
2002.06.21 |
申请人 |
GALILEO VACUUM SYSTEMS S.R.L., PRATO |
发明人 |
FUSI, ANDREA |
分类号 |
C23C14/24;C23C14/26;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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