发明名称 VORRICHTUNG ZUR VAKUUMBEDAMPFUNG
摘要
申请公布号 DE60202870(D1) 申请公布日期 2005.03.10
申请号 DE20026002870 申请日期 2002.06.21
申请人 GALILEO VACUUM SYSTEMS S.R.L., PRATO 发明人 FUSI, ANDREA
分类号 C23C14/24;C23C14/26;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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