发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100473735(B1) 申请公布日期 2005.03.10
申请号 KR20020062420 申请日期 2002.10.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/31;H01L21/265;H01L21/283;H01L21/318;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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