缺陷管理系统的方法

摘要

本发明提供一种缺陷管理系统的方法，包含进行机台匹配检验于一缺陷管理系统中，其至少包含扫描一生产晶片；检视一使用层级于缺陷管理系统中，缺陷管理系统根据使用层级，分配缺陷管理系统的资源；编辑一分析过程模板，缺陷管理系统根据该分析过程模板，执行一分析过程；预滤缺陷数据，其根据至少一基准，此基准选自以下所组成族群之一：未分类与分类、缺陷类别、缺陷尺寸、影像种类、缺陷图案、与CP数据结合；及输出一结果报告，结果报告结合分析过程模板与缺陷数据。

主权项

1、一种缺陷管理系统的方法，其特征在于，该方法包含：进行机台匹配检验于一缺陷管理系统中，该进行步骤至少包含扫描一生产晶片；检视一使用层级于该缺陷管理系统中，该缺陷管理系统根据该使用层级，分配该缺陷管理系统的资源；编辑一分析过程模板，该缺陷管理系统根据该分析过程模板，执行一分析过程；预滤复数个缺陷数据，该预滤步骤根据至少一基准，该基准选自以下所组成族群之一：未分类与分类、缺陷类别、缺陷尺寸、影像种类、缺陷图案、与CP数据结合；及输出一结果报告，该结果报告结合该分析过程模板与该复数个缺陷数据。