发明名称 具有双向调针功能的调针机
摘要 一种具有双向调针功能的调针机,适用于调整一针测卡上的多个探针,该调针机包含一基座、一固定单元、一举臂单元,及一定置单元,该定置单元具有一框架、二固定片,及多个锁固件,该针测卡可定置于该固定单元上,并将该多个探针朝向该举臂单元的位置,也可以借由该定置单元固定于框架的适当位置处,以使该探针卡上的多个探针朝向该固定单元,进而达到双向固定该针测卡便于上下调整该多个探针的功效。
申请公布号 CN2684374Y 申请公布日期 2005.03.09
申请号 CN200420002961.8 申请日期 2004.02.16
申请人 经测科技股份有限公司 发明人 郑仁熹
分类号 H01L21/66;G01R1/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 戈泊;鲍玲
主权项 1.一种具有双向调针功能的调针机,适用于调整一针测卡上的多个探针,该调针机包含有一基座、一设置于该基座上的固定单元、一间隔设置于该固定单元上方的举臂单元、一可驱动该举臂单元相对该固定单元作上下位移的连动单元,及一显微镜单元,其特征在于;该调针机还包含有一可拆卸地锁固于该举臂单元上的定置单元,并具有一置于该二举臂间的框架、二用于固定该框架的固定片,及多个用于锁固该二固定片与该二举臂的锁固件,该针测卡可定置于该固定单元上,并将该多个探针朝向该举臂单元的位置,也可借由该定置单元固定于框架的适当位置处,以使该探针卡上的多个探针朝向该固定单元,进而达到双向固定该针测卡,便于向上与向下调整该多个探针的功效。
地址 台湾省台北县