导磁膜的形成方法及相关设备

摘要

一种通过沉积磁性材料在表面(3)上形成导磁膜(5)的方法，在沉积过程中该表面附近存在磁场(H)，所述磁场的方向基本平行于该表面。为了在沉积过程中调节磁性材料的导磁率，该方法包括如下步骤：1)通过沉积铁磁性材料形成导磁层(2、4)，制成导磁膜，铁磁性材料的最大厚度(t₁+t₂)基本对应于1/2πL_ex，其中L_ex等于√A/K_u，A是铁磁性材料的交换常数，K_u是单轴各向异性常数；和2)在导磁层的形成过程中改变磁场的方向，而不是仅倒转约180°的角度。

主权项

1.一种通过沉积磁性材料在表面上形成导磁膜的方法，在沉积过程中所述表面附近存在磁场，所述磁场的磁场方向平行于所述表面，其特征在于包括如下步骤：通过沉积铁磁性材料形成导磁层，制成导磁膜，铁磁性材料的最大厚度对应于1/2πL_ex，其中L_ex等于A是铁磁性材料的交换常数，K_u是单轴各向异性常数；和在导磁层的形成过程中改变磁场的磁场方向，而不是仅倒转180°的角度。