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经营范围
发明名称
Lithographic apparatus
摘要
申请公布号
EP1182684(A3)
申请公布日期
2005.03.09
申请号
EP20010306861
申请日期
2001.08.10
申请人
ELITH LLC;AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORPORATION
发明人
DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN;KRUIT, PIETER;BLEEKER, ARNO JAN;VAN DER MAST, KAREL DIEDERICK
分类号
H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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