发明名称 Lithographic apparatus
摘要
申请公布号 EP1182684(A3) 申请公布日期 2005.03.09
申请号 EP20010306861 申请日期 2001.08.10
申请人 ELITH LLC;AGERE SYSTEMS GUARDIAN CORPORATION 发明人 DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN;KRUIT, PIETER;BLEEKER, ARNO JAN;VAN DER MAST, KAREL DIEDERICK
分类号 H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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