发明名称 镀铜电解液
摘要 揭示了一种铜电镀液,使用所述溶液的方法以及通过使用这种方法和溶液形成的产品,所述溶液中包含铜的链烷磺酸盐以及游离的链烷磺酸,其中,所述游离酸的浓度约为0.05-2.50M,它用于将金属镀到微米尺寸的沟槽或通路、通孔和微通路上。
申请公布号 CN1592800A 申请公布日期 2005.03.09
申请号 CN03801591.9 申请日期 2003.08.08
申请人 阿托费纳化学股份有限公司 发明人 N·M·马特亚克
分类号 C25D3/38;C23C16/00 主分类号 C25D3/38
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 周承泽
主权项 1.一种用于电镀铜的溶液,它包含铜的链烷磺酸盐以及游离的链烷磺酸,其中,所述游离酸的浓度约为0.05-2.50M,它用于将金属镀到微米尺寸的沟槽或通路、通孔和微通路上。
地址 美国宾夕法尼亚州