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发明名称 POLISHING BODY, POLISHER, POLISHING METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100471527(B1) 申请公布日期 2005.03.09
申请号 KR20017011397 申请日期 2001.09.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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