| 发明名称 | 用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物，该组合物包含：约10重量％～30重量％的胺化合物溶剂，该胺化合物溶剂包含链烷醇胺；约10重量％～80重量％的乙二醇类溶剂；约9.5重量％～79重量％的极性溶剂和约0.5重量％～10重量％的防腐蚀剂。 | ||
| 申请公布号 | CN1591199A | 申请公布日期 | 2005.03.09 |
| 申请号 | CN200410076979.7 | 申请日期 | 2004.08.27 |
| 申请人 | LG.菲利浦LCD有限公司;东进瑟弥侃株式会社 | 发明人 | 曹奎哲;蔡基成;权五楠;李坰默;黄龙燮;金圣培;长锡唱;尹锡壹 |
| 分类号 | G03F7/42;G02F1/136;G02F1/133 | 主分类号 | G03F7/42 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰 |
| 主权项 | 1.一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物，其包含：约10重量％～30重量％的胺化合物溶剂，该胺化合物溶剂包含链烷醇胺；约10重量％～80重量％的乙二醇类溶剂；约9.5重量％～79重量％的极性溶剂；和约0.5重量％～10重量％的防腐蚀剂。 | ||
| 地址 | 韩国汉城 | ||