| 发明名称 | 对物料层进行结构化的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一个对至少一个欲结构化的物料层进行结构化的方法，其步骤包括：在欲结构化的物料层上涂敷一个掩模，在涂敷上述掩模的情况下，对欲结构化的物层进行结构化；除去上述掩模，其中保留了该欲结构化的物料层的再沉积物；然后，再用声波作用除去上述欲结构化的物料层的再沉积物。 | ||
| 申请公布号 | CN1192418C | 申请公布日期 | 2005.03.09 |
| 申请号 | CN98117948.7 | 申请日期 | 1998.09.03 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | M·恩格尔哈德特;V·维恩里希 |
| 分类号 | H01L21/31 | 主分类号 | H01L21/31 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 温宏艳 |
| 主权项 | 1.对至少一个欲结构化的物料层进行结构化的方法，其步骤包括：—在欲结构化的物料层上涂敷一个掩模，—在涂敷上述掩模的情况下，对欲结构化的物料层进行结构化作用，—除去上述掩模，其中保留了该欲结构化的物料层上的再沉积物，和—用声波作用除去上述欲结构化的物料层上的再沉积物。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||