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发明名称 Herstellung von Halbleitereinrichtungen
摘要
申请公布号 DE1544217(A1) 申请公布日期 1970.03.12
申请号 DE19641544217 申请日期 1964.06.09
申请人 JOSEPH LUCAS (INDUSTRIES) LTD. 发明人 STANLEY BROWN,RICHARD;WILLIAM GULLIVER,HERBERT
分类号 H01L21/00;H01L21/225;H01L21/288;H01L21/316;H01L23/29 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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