发明名称 |
精制显影液制造装置及精制显影液制造方法 |
摘要 |
提供一种精制显影液制造装置及方法,该装置备有供给且搅拌显影原液和纯水的调制槽、以及与该调制槽连接设置的正常化槽,正常化槽通过管路连接在形成电子电路的加工设备上。调制槽及正常化槽具有测定各自槽内的碱系显影液的碱浓度的第一及第二碱浓度测定装置。在调制槽中,根据第一碱浓度测定装置的测定值,调整供给槽内的显影原液的供给量及纯水的供给量中的至少一个,调制碱系显影液。该碱系显影液送给正常化槽,碱浓度被正常化后,通过管路送给加工设备。 |
申请公布号 |
CN1192284C |
申请公布日期 |
2005.03.09 |
申请号 |
CN02103474.5 |
申请日期 |
2002.02.06 |
申请人 |
株式会社平间理化研究所;长濑产业株式会社;长濑CMS科学技术株式会社 |
发明人 |
中川俊元;小川修;森田悟;菊川诚;宝山隆博 |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王以平 |
主权项 |
1.一种精制显影液制造装置,通过管路连接到形成进行了精细加工的电子电路的加工设备上,制造该加工设备中使用的碱系显影液,其特征在于该装置备有:供给且搅拌显影原液和纯水,调制碱系显影液的调制槽;测定在上述调制槽内调制的碱系显影液的碱浓度的第一碱浓度测定装置;根据上述第一碱浓度测定装置的测定值,调整供给上述调制槽的上述显影原液的供给量及上述纯水的供给量这两者中的至少一者的液供给控制装置;被从上述调制槽供应在上述调制槽内调制的碱系显影液,且使该碱系显影液的碱浓度正常化的正常化槽;以及将在上述调制槽内调制的碱系显影液从上述调制槽供给上述正常化槽,调整该调制槽中的该碱系显影液的液面高度以及该正常化槽中的该碱系显影液的液面高度的液供给·液面高度控制装置,且上述液供给·液面高度控制装置从上述调制槽向上述正常化槽自然地输送在上述调制槽内调制的碱系显影液,且具有连接到该调制槽及该正常化槽的连通管。 |
地址 |
日本神奈川 |