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发明名称 XY TABLE IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100473924(B1) 申请公布日期 2005.03.08
申请号 KR20020022971 申请日期 2002.04.26
申请人 发明人
分类号 G12B5/00;H01L21/52;G05D3/12;H01L21/50;H01L21/60;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
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