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发明名称
摘要
申请公布号 SE322294(B) 申请公布日期 1970.04.06
申请号 SE19660001736 申请日期 1966.02.10
申请人 SIEMENS AG 发明人 HEISSING H;MEER W
分类号 C30B31/02;H01L21/00;H01L21/22;H01L29/00;H01L29/73;(IPC1-7):H01L7/44 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
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