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发明名称 FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050021450(A) 申请公布日期 2005.03.07
申请号 KR20057000404 申请日期 2005.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/16;C23C16/44;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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