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发明名称 METHOD FOR DELIVERY OF SUBSTRATE TO FILM FORMING DEVICE FOR DISK-LIKE SUBSTRATE, SUBSTRATE DELIVERY MECHANISM AND SUBSTRATE HOLDER USED FOR THE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING DISK-LIKE RECORDING MEDIUM USING THE METHOD
摘要
申请公布号 KR20050021018(A) 申请公布日期 2005.03.04
申请号 KR20047020496 申请日期 2004.12.17
申请人 发明人
分类号 G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 代理人
主权项
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