发明名称 PROTECTION D'UNE MEMBRANE DEFORMABLE CONTRE DE FORTES DEFORMATIONS DANS UNE STRUCTURE MICROMECANIQUE
摘要 <P>Structure micromécanique destinée à mesurer ou à détecter une grandeur mécanique ou une grandeur dynamique, comprenant une membrane déformable et un substrat support, la membrane étant suspendue au-dessus du substrat support définissant ainsi un espace libre, ladite structure micromécanique comportant en outre une butée limitant les déformations de la membrane, caractérisé en ce que ladite butée s'étend à partir du fond de l'espace libre vers la membrane.L'invention concerne en outre un procédé de réalisation d'une telle structure micromécanique.</P>
申请公布号 FR2859281(A1) 申请公布日期 2005.03.04
申请号 FR20030010397 申请日期 2003.09.02
申请人 AUXITROL SA 发明人 BRIDA SEBASTIANO
分类号 G01L19/06;(IPC1-7):G01L19/06;G01P15/00 主分类号 G01L19/06
代理机构 代理人
主权项
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