摘要 |
<P>Structure micromécanique destinée à mesurer ou à détecter une grandeur mécanique ou une grandeur dynamique, comprenant une membrane déformable et un substrat support, la membrane étant suspendue au-dessus du substrat support définissant ainsi un espace libre, ladite structure micromécanique comportant en outre une butée limitant les déformations de la membrane, caractérisé en ce que ladite butée s'étend à partir du fond de l'espace libre vers la membrane.L'invention concerne en outre un procédé de réalisation d'une telle structure micromécanique.</P>
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