MRAM und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Es werden ein MRAM und ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindungsstruktur in einem solchen angegeben. Ein Verfahren gemäß einer beispielhaften Ausführungsform beinhaltet die folgenden Schritte: DOLLAR A - Herstellen einer magnetischen Stapelschicht auf einer unteren Metallisierungsebene, wobei diese magnetische Stapelschicht über eine nicht-ferromagnetische Schicht verfügt, die zwischen einem Paar ferromagnetischer Schichten angeordnet ist; DOLLAR A - Herstellen einer leitenden Hartmaske auf der magnetischen Stapelschicht und DOLLAR A - Entfernen ausgewählter Abschnitte der Hartmaske und der magnetischen Stapelschicht, um dadurch ein Array von MTJ-Stapeln zu erzeugen, die verbliebene Anteile der magnetischen Stapelschicht und der Hartmaske enthalten; DOLLAR A - wobei die Hartmaske zwischen der magnetischen Stapelschicht und einer oberen Metallisierungsebene, die anschließend über den MTJ-Stapeln hergestellt wird, einen Selbstausrichtungskontakt bildet.