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发明名称
MODELLGESTÜTZTE PRÄDIKTIVE REGELUNG FÜR THERMISCHE BEHANDLUNGEN
摘要
申请公布号
DE69728256(T2)
申请公布日期
2005.03.03
申请号
DE19976028256T
申请日期
1997.01.30
申请人
ASM AMERICA INC., PHOENIX
发明人
DE WARD, HANK;DE KEYSER, M.;LU, ZHIMIN;DONALD, J.
分类号
H01L21/26;G05B13/02;G05B13/04;G05D23/19;(IPC1-7):H05B1/02
主分类号
H01L21/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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