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发明名称
PLASMA IMPLANTATION SYSTEM AND METHOD WITH TARGET MOVEMENT
摘要
申请公布号
KR20050019889(A)
申请公布日期
2005.03.03
申请号
KR20057000806
申请日期
2003.07.17
申请人
发明人
分类号
H01J37/32;H01L21/265;H01J37/20;H01L21/00;H05H1/24;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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