发明名称 METHODS AND APPARATUS OF FIELD-INDUCED PRESSURE IMPRINT LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP1509379(A1) 申请公布日期 2005.03.02
申请号 EP20030734468 申请日期 2003.05.27
申请人 CHOU, STEPHEN Y.;ZHANG, WEI 发明人 CHOU, STEPHEN Y.;ZHANG, WEI
分类号 B29C43/36;B29C43/02;B29C59/02;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/3213;(IPC1-7):B29C43/36 主分类号 B29C43/36
代理机构 代理人
主权项
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