发明名称 NICKEL SILICIDE WITH REDUCED INTERFACE ROUGHNESS
摘要
申请公布号 EP1509947(A2) 申请公布日期 2005.03.02
申请号 EP20030799782 申请日期 2003.05.13
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 PATON, ERIC, N.;BESSER, PAUL, R.;CHAN, SIMON, S.;HAUSE, FRED, N.
分类号 H01L21/28;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/44;H01L23/48;H01L23/52;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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