发明名称 | 短波长X射线衍射测量装置和方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于较低原子序数的晶体材料试样或工件的短波长X射线衍射断层扫描测量装置和方法。其装置包括X射线管、入射光阑、工作台、限位接收狭缝、测角仪、探测器、能量分析器,其特征在于:所述X射线管与所述探测器位于所述工作台两侧。本发明采用短波长X射线衍射透射法,在不破坏原子序数较低的晶体材料工件的前提下,能测得厚度更厚的工件不同深度不同部位的X射线衍射谱及其分布。本发明所述具有操作简便,检测时间不长,测得的X射线衍射谱真实、可靠。 | ||
申请公布号 | CN1588019A | 申请公布日期 | 2005.03.02 |
申请号 | CN200410068880.2 | 申请日期 | 2004.07.14 |
申请人 | 西南技术工程研究所 | 发明人 | 郑林;何长光;彭正坤 |
分类号 | G01N23/20 | 主分类号 | G01N23/20 |
代理机构 | 重庆弘旭专利代理有限责任公司 | 代理人 | 周韶红 |
主权项 | 1、一种短波长X射线衍射测量装置,包括X射线管(1)、入射光阑(2)、工作台(4)、接收狭缝(5)、测角仪(7)、探测器(6)、能量分析器(9),其特征在于:所述X射线管(1)与所述探测器(6)位于所述工作台(4)两侧。 | ||
地址 | 400039重庆市九龙坡区石桥铺渝洲路33号 |