锌铝真空蒸发镀膜机

摘要

本发明为一种锌铝真空蒸发镀膜机，包括由卷绕室、镀膜室和网络板组成的真空室，由扩散泵、罗茨泵、滑阀泵及阀门组成第一抽真空系统和冷阱式的第二抽真空系统以及蒸发源，其特征在于：所述的第二抽真空系统采用非冷凝捕集泵，是由滑阀泵、罗茨泵、二个增压泵和阀门依次串联连接，二个增压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组成第二抽真空系统。本发明的有益效果是：真空室中的第二抽真空系统取代了冷阱，克服了使用冷阱存在的工艺要求和运行成本都高的缺陷。本发明实现设备国产化、使整机造价降低、提高了工作效果，使锌铝镀膜产品达到先进水平。

主权项

1.一种锌铝真空蒸发镀膜机，包括卷绕室(16)、镀膜室(19)和网络板(20)组成的真空室(6)，扩散泵(7)、阀门(10)、罗茨泵(11)、(9)、滑阀泵(8)组成第一抽真空系统和冷阱式的第二抽真空系统以及蒸发源，其特征在于：所述的第二抽真空系统采用非冷凝捕集泵，是由滑阀泵(15)、罗茨泵(14)、二个增压泵(12)和(13)、阀门(10-1)依次串联连接，二个增压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组成第二抽真空系统，第二抽真空系统接通真空室。