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发明名称 Wafer fabrication data acquisition and management systems
摘要
申请公布号 EP1150187(A3) 申请公布日期 2005.03.02
申请号 EP20010104512 申请日期 2001.03.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CORDOVA, SHERRY;WILMER, MICHAEL E.;NISHIMURA, YUKARI;KROUPNOVA, NATALIA;NOLET, CLARICE M.;DOYLE, TERRY;LYON, RICHARD C.;LOBOVSKI, EVGUENI;LOUNEVA, INNA;TOH, WOON YOUNG;REISS, TERRY
分类号 H01L21/302;G05B19/042;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):G05B19/042;H01L29/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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