三层平板微机电系统静电驱动器

摘要

一种微机电系统(MEMS)静电驱动器，该驱动器结构简单、紧凑、通用性强、能减小驱动电压。它是利用静电驱动原理设计的，该结构的驱动电极由三块电极板构成，可以提高静电驱动力或减小驱动电压，能提高MEMS器件与集成电路的兼容性和扩展静电驱动器的使用场合，在MEMS器件中有很广泛的应用。

主权项

1、一种MEMS静电驱动方法，其特征在于：该装置包括有下列部件：(1)1为驱动器的上电极板，它是固定部件；(2)2为驱动器的下电极板，它是固定部件，与上电极板平行；(3)3为中间电极板的固定扭臂，中间电极板可以绕着它偏转；(4)4为驱动器的中间电极板，可以以固定扭臂为轴偏转。