均匀大面积常压射频冷等离子体发生器

摘要

一种均匀大面积常压射频冷等离子体发生器，包括一个射频电源、供气源和等离子体发生器，温度控制系统和支架等，等离子体发生器设有两个相对的表面彼此平行的电极，一个与射频电源连接叫射频电极，另一个与地连接叫地电极，该射频电极固定在可以上下移动的支架上，通过移动支架，使该射频电极与该地电极之间的间距可以调节，在该射频电极与该地电极之间形成放电区间，在该射频电极的中间部位开有多个进气小孔，该多个进气小孔与进气导管相通，该进气导管与供气源连通，该地电极可由电机带动自转，在该地电极下面设有加热器，该地电极表面的温度可以通过控制加热器来控制。

主权项

1、一种均匀大面积常压射频冷等离子体发生器，包括一个射频电源、供气源和等离子体发生器，温度控制系统和支架等，其特征在于：等离子体发生器设有两个相对的表面彼此平行的电极，一个与射频电源连接叫射频电极，另一个与地连接叫地电极，该射频电极固定在可以上下移动的支架上，通过移动支架，使该射频电极与该地电极之间的间距可以调节，在该射频电极与该地电极之间形成放电区间，在该射频电极的中间部位开有多个进气小孔，该多个进气小孔与进气导管相通，该进气导管与供气源连通，该地电极可由电机带动自转，在该地电极下面设有加热器，该地电极表面的温度可以通过控制加热器来控制。