薄膜磁头滑板的制造方法

摘要

一种制造薄膜磁头滑板的方法，该磁头滑板具有相对于记录媒体的媒体相对表面，跟踪机构设置在滑板上，用于驱动上述机构的静电致动器包括有固定部件，该固定部件具有多个相互平行的齿，可移动部件也具有多个齿，这些齿平行于上述固定部件的齿，支承弹簧支承上述可移动部件，因此可移动部件能够相对于上述固定部件移动。

主权项

1.一种制造具有一媒体相对表面的薄膜磁头滑板的方法，该媒体相对表面适于相对于记录媒体，所述方法包括步骤：在一基片上形成一牺牲层，所述牺牲层包括一锥形表面，用于形成至少一部分所述媒体相对表面；在所述牺牲层上形成一气承层，所述气承层具有一空气入口部，所述空气入口部形成在所述锥形表面上，从而所述空气入口部具有一锥形；在所述气承层上形成一滑板主体、一磁头元件和用于磁头元件的端垫；通过除去所述牺牲层而将所述滑板主体与所述基片分离。