一种光电导型紫外探测器

摘要

本发明的光导型紫外探测器自上而下依次由纯氧化镓滤光膜，铟镓氧化物紫外敏感膜，叉指电极和绝缘衬底迭置而成。该紫外探测器以纯氧化镓薄膜为滤光层，以铟镓氧化物为紫外敏感层，既可以滤去波长小于240nm的光，又使得探测器只对太阳盲区波长范围内的光波敏感。此外，由于叉指电极在敏感膜的下面，敏感膜受光面积大，避免了一般光导型探测器中叉指电极对受光面积的影响，因此灵敏度很高。本发明的紫外探测器具有结构简单，灵敏度高，成本低等优点。

主权项

1.一种光电导型紫外探测器，其特征是该探测器自上而下依次由纯氧化镓滤光膜(1)，铟镓氧化物紫外敏感膜(2)，叉指电极(3)和绝缘衬底(4)迭置而成。