发明名称 近场光学显微镜
摘要 一种近场光学显微镜,包括一激光束,其特征在于它的构成是:沿该激光束前进方向上且与该激光束成45°放置一半反半透镜,在垂直于该激光束且穿过该半反半透镜的光轴上,同轴地在该半反半透镜上方置有探测器,半反半透镜的下方依次置有会聚透镜、半球型固体浸没透镜、样品及样品架,该半球型固体浸没透镜的下表面镀有超分辨掩膜层且该超分辨掩膜层位于会聚透镜的焦平面,所述的样品位于样品架上。本发明近场光学显微镜的分辨率更高而且分辨率是可调的。
申请公布号 CN1588156A 申请公布日期 2005.03.02
申请号 CN200410052904.5 申请日期 2004.07.16
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 徐文东;张锋;干福熹;王阳;周飞;魏劲松;高秀敏
分类号 G02B21/00;G01N13/10 主分类号 G02B21/00
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1、一种近场光学显微镜,包括一激光束(1),其特征在于它的构成是:沿该激光束(1)前进方向上且与该激光束(1)成45°放置一半反半透镜(2),在垂直于该激光束(1)且穿过该半反半透镜(2)的光轴上,同轴地在该半反半透镜(2)上方置有探测器(3),半反半透镜(2)的下方依次置有会聚透镜(4)、半球型固体浸没透镜(5)、样品(6)及样品架(7),该半球型固体浸没透镜(5)的下表面镀有超分辨掩膜层(11),且该超分辨掩膜层(11)位于会聚透镜(4)的焦平面,所述的样品(6)位于样品架(7)上。
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