发明名称 |
高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器 |
摘要 |
高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器,属半导体光电子领域,如图所示,包括有上分布布拉格反射镜(1),下分布布拉格反射镜(6),衬底(7),特征在于还包括在上、下分布布拉格反射镜(1)和(6)之间的N个重复排列的有源区部分(8)和N-1个反向隧道结(5)的重复结构构成大有源区部分(10),其中N是传统的有源区部分(8)的在本发明的垂直腔面发射激光器的数目,其中有源区部分(8)p型限制层(2)、增益区(3)、n型限制层(4)构成。解决了统垂直腔面发射激光器材料生长和器件制备的工艺难度,成本高,成品率低,且随有源区体积减小,效率下降,,以及激射波长为单一波长,无法在同一只器件中获得多个波长。 |
申请公布号 |
CN1588717A |
申请公布日期 |
2005.03.02 |
申请号 |
CN200410069251.1 |
申请日期 |
2004.07.16 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
沈光地;郭霞;邓军;邹德恕;董立闽;韩军 |
分类号 |
H01S5/183 |
主分类号 |
H01S5/183 |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 |
代理人 |
魏聿珠 |
主权项 |
1、高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面发射激光器,如图2所示,包括有依次纵向层叠的上分布布拉格反射镜(1),下分布布拉格反射镜(6),衬底(7),其特征在于,还包括在上分布布拉格反射镜(1)和下分布布拉格反射镜(6)之间的N个依次顺序重复排列的有源区部分(8)和N-1个反向隧道结(5)的重复结构构成大有源区部分(10),其中N是传统的有源区部分(8)的在本发明的垂直腔面发射激光器的数目,其中有源区部分(8)按公知技术由上而下依次排列的p型限制层(2)、增益区(3)、n型限制层(4)构成。 |
地址 |
100022北京市朝阳区平乐园100号 |