发明名称 |
改进氢化物气相外延生长氮化镓结晶膜表面质量的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种In改进氢化物气相外延生长氮化镓结晶膜表面质量的方法,特征在于在HVPE生长GaN的过程中采用了In辅助外延生长。它是通过在HVPE反应室中同时放置镓(Ga)舟和In舟来实现的。Ga舟和In舟放在相同的温区,或放在不同的温区,HCl气体流过Ga舟和In舟,通过对于产生的InCl和GaCl的量进行调节,满足生长的需要。GaN结晶膜的生长温度为1000-1100℃,在此温度下不会形成InGaN合金,其他条件与通常的HVPE生长GaN的条件相同。由于In的引入,Ga原子的表面迁移长度增加,而这对于生长速度很高的HVPE生长方式非常重要,可以使得生长的GaN的表面的平整度得到改进,且降低GaN结晶膜中的缺陷位错密度。 |
申请公布号 |
CN1588624A |
申请公布日期 |
2005.03.02 |
申请号 |
CN200410053350.0 |
申请日期 |
2004.07.30 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
于广辉;雷本亮;叶好华;齐鸣;李爱珍 |
分类号 |
H01L21/205;C30B25/02;C30B29/38 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
潘振甦 |
主权项 |
1.一种改进氢化物气相外延生长氮化镓结晶膜表面质量的方法,其特征在于氢化物气相外延生长GaN的同时引入In辅助源,并且与HCl气体反应生成的InCl和GaCl气体同时到达衬底表面,与NH3在1000-1100℃反应,外延生长GaN结晶膜。 |
地址 |
200050上海市长宁区长宁路865号 |